Equipamento de monitoramento de gases para inspeção de semicondutores D-ReX PoS²

para uso industrialpara monitoramento de processospara detecção

Overview
O D-ReX PoS² é um sistema compacto de detecção de gases concebido para ambientes de fabrico de semicondutores. Integra uma bomba interna que aspira o gás amostra no ponto de amostragem (PoS) a distâncias até ~30 m e suporta montagem em parede ou em trilho DIN. As opções de conectividade incluem Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA e Modbus (RS-485).

USPs

• Assistência sem ferramentas: o painel frontal abre sem ferramentas para rápido acesso ao cartucho do sensor e ao mecanismo da bomba.
• Amostragem remota: bomba integrada com capacidade de linha de amostragem para espaços reduzidos e pontos de amostragem distribuídos.
• Integração flexível: PoE, 4–20 mA e Modbus (RS-485) para fácil ligação a sistemas de controlo superiores.

Features

• Monitorização de integridade da linha opcional
• Grande ecrã a cores 2,4" TFT para identificação do gás, concentração e estado do equipamento
• Três relés internos comutáveis unipolares, programáveis livremente
• Comunicação: Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
O dispositivo suporta amostragem a partir de condutas, sistemas de distribuição de gás, áreas de armazenamento, depuradores e salas limpas. Para gases que requerem pirólise está disponível o módulo opcional Py‑ReX. Os cartuchos de sensor são pré-configurados e substituíveis; o cassete do sensor e a eletrónica da bomba são reutilizados na substituição de peças de desgaste.

Information & operation
O ecrã de 2,4" apresenta a identidade do gás, a concentração medida, o estado do equipamento e falhas em texto claro. Três relés internos podem ser programados para acionar alarmes externos ou ações de segurança. A operação em rede é suportada via LAN com PoE (10/100 Mbit/s) e Modbus (RS-485); a saída analógica é fornecida por 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Amónia (NH3), Cloreto de hidrogénio (HCl), Fluoreto de hidrogénio (HF), Hidrogénio (H2), Silano (SiH4), Diclorossilano (DCS), Arsina (AsH3), Fosfina (PH3), Diborano (B2H6), Seleniureto de hidrogénio (H2Se), Germanano (GeH4), Trifluoreto de cloro (ClF3), Flúor (F2), Ozono (O3), Brometo de hidrogénio (HBr), Cianeto de hidrogénio (HCN), Hexametildisilazano (HMDS), Tetraetil ortossilicato (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: bomba integrada com capacidade de linha de amostragem (até ~30 m)
• Installation: montagem em parede ou trilho DIN
• Service: acesso frontal sem ferramentas; substituição sem ferramentas do cartucho do sensor e do mecanismo da bomba
• Sensores suportados: eletroquímicos, catalíticos, infravermelhos, PID (cartuchos pré-configurados)
• Display: 2,4" cor (TFT)
• Relays: três relés internos programáveis (comutação unipolar)
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus (RS-485)
• Network / Power: Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: módulo Py‑ReX pirolisador; monitorização de integridade de linha opcional