Módulo de detecção de pirólise Py-ReX

de gáseletroquímico

O módulo pirolisador Py-ReX é um complemento para o detetor de gás D-ReX PoS, que utiliza a sua bomba integrada para a deteção de gás extrativo. Quando utilizado em combinação com o Py-ReX, o D-ReX é capaz de detetar gases demasiado tóxicos ou quimicamente inactivos para serem medidos diretamente. Deteção de gases utilizando um pirolisador A utilização de um pirolisador alarga as possibilidades de deteção de gases no fabrico de semicondutores e facilita o cumprimento de normas de qualidade rigorosas, bem como a otimização dos processos de fabrico. Para qualquer processo que exija a medição de gases que sejam demasiado tóxicos ou demasiado inactivos do ponto de vista eletroquímico para serem medidos diretamente, é essencial um pirolisador. Com base nas capacidades do D-ReX PoS, o Py-ReX foi desenvolvido para detetar esses gases em modo de extração. É montado entre o ponto de amostragem e o detetor de gás. O gás que se pretende medir é então conduzido através do pirolisador utilizando uma bomba, antes de chegar ao sensor no interior do D-ReX, onde é medido, após a conclusão da pirólise. Como é que a pirólise funciona? Um pirolisador dissolve o gás original (gás alvo) num gás que pode ser medido (gás medido). Esta etapa é necessária para medir alguns gases, uma vez que não podem ser detectados sem ela. A concentração do gás medido pode então ser utilizada para calcular a concentração do gás alvo. O Py-ReX é um pirolisador de filamentos. Um filamento num tubo de vidro de quartzo é aquecido a uma temperatura específica que é ajustada com precisão ao gás alvo. Em contacto com o filamento, o gás alvo decompõe-se no gás medido e pode então ser detectado pelo sensor eletroquímico inteligente no detetor de gás.