Máquina de deposição PECVD DLC800

Visão geral
Equipamento compacto de revestimento DLC para produção em pequenos lotes de revestimentos de baixa fricção e resistência ao desgaste. Huasheng DLC800 é uma máquina compacta projetada para produção industrial em pequenos lotes. Combina sputtering magnetron (MS) e PECVD para depositar revestimentos Cr/WC/a-C:H DLC com baixa fricção, boa resistência ao desgaste, superfície lisa e adesão de revestimento confiável.

Principais características

• Projeto de câmara compacto para reduzir a área ocupada e suportar fluxos de trabalho flexíveis em pequenos lotes.
• Processo híbrido MS + PECVD para filmes DLC Cr/WC/a-C:H com morfologia lisa e estrutura de filme consistente.
• Limpeza por plasma e gravação SET para melhorar a adesão substrato–revestimento.
• Controle automatizado do processo, componentes modulares e manutenção acessível para operação simplificada.

Destaques de desempenho

• Espessura típica do revestimento: 2–4 µm
• Coeficiente de fricção baixo: ≤0,1
• Dureza do revestimento: ≈2500 HV
• Temperatura típica de deposição: <200°C

Parâmetros do produto
Modelo: DLC800
Tecnologia de revestimento: MS + PECVD
Gravação: SET
Dimensões: L4850 × W1600 × H2400 mm
Volume da câmara: 0,8 m³
Área efetiva de revestimento: Φ650 × 400 mm
Temperatura de deposição: <200°C
Capacidade: Sob encomenda
Peso máximo de carga: 500 kg
Diâmetro do spindle: Φ170 mm
Tempo de processamento: 6–8 h

Características / especificações técnicas

• Modelo: DLC800
• Revestimento: Cr/WC/a-C:H DLC (MS + PECVD)
• Espessura típica: 2–4 µm
• Coeficiente de fricção: ≤0,1
• Dureza: ≈2500 HV
• Área efetiva de revestimento: Φ650 × 400 mm
• Peso máximo de carga: 500 kg
• Volume da câmara: 0,8 m³
• Temperatura de deposição: <200°C
• Tempo de processamento por lote: 6–8 h