Máquina de deposição por CVD DA600 PRO

Visão geral do produto
O equipamento de revestimento de diamante DA600PRO cria um campo de temperatura uniforme usando matrizes paralelas de filamentos aquecidos e uma estrutura de resfriamento por água em dupla camada, permitindo a síntese de filmes diamante ultrananocristalinos, nanocristalinos e micrométricos em grandes áreas e espessuras variadas. O design do filamento reduz a taxa de falhas e aumenta a estabilidade; o controlo da pressão da câmara minimiza a quebra do filamento. Uma fonte de aquecimento de alta potência aumenta a capacidade de carga por lote sem comprometer o desempenho do revestimento. O sistema suporta vários tipos de substratos usados em ferramentas e aplicações industriais. A variação da espessura do filme para ferramentas de corte é controlada dentro de 15%.

Principais benefícios

• Distribuição uniforme de temperatura através de matrizes paralelas de filamentos e resfriamento por água em dupla camada.
• Operação estável dos filamentos com estrutura otimizada e controlo de pressão da câmara para reduzir quebras.
• Alta capacidade por lote possibilitada por uma fonte de aquecimento de 40 kW.
• Uniformidade de revestimento consistente: variação de espessura dentro de 15% para ferramentas de corte.
• Suporta o processo Hot-Filament CVD para uma ampla gama de substratos e ferramentas.

Aplicações

• Ferramentas de corte (incluindo fresas e ferramentas de corte para PCB)
• Grafite e materiais compósitos (CFRP)
• Substratos cerâmicos PCB e revestimentos condutores
• Ligas AlSi (Si > 12%)
• Ferramentas para madeira e peças com haste/superfície plana

Parâmetros do produto (tabela)
Modelo: DA600PRO
Área efetiva de revestimento: 300 × 300 mm
Tamanho interno da câmara: 2600 × 2100 × 700 mm³
Espessura do revestimento: 4–30 μm
Potência máxima de aquecimento: 40 kW
Capacidade (D3): 600 unidades
Método de revestimento: Hot Filament CVD
Produtos aplicáveis: Ferramentas de corte PCB; revestimentos condutores; ferramentas com haste; revestimento de superfície plana para pastilhas e outras peças

Características / Especificações técnicas

• Modelo: DA600PRO
• Área efetiva: 300 × 300 mm
• Dimensões internas: 2600 × 2100 × 700 mm³
• Volume da câmara: 0,16 m³ (reportado)
• Faixa de espessura: 4–30 μm
• Potência máxima de aquecimento: 40 kW
• Capacidade: 600 unidades por lote (D3); uma seção também faz referência a até 500 unidades
• Tecnologia de revestimento: Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD)
• Uniformidade de espessura para ferramentas de corte: < 15%
• Substratos adequados: ferramentas de corte, grafite, CFRP, substratos cerâmicos PCB, ligas AlSi (Si > 12%), ferramentas para madeira, pastilhas e outras peças de superfície plana