Armazém automático vertical

para cassetepara placascom controle constante de temperatura e de umidade

Este sistema de armazenamento automático destina-se ao sistema de logística limpa para semicondutores, que armazena e classifica a bolacha FOUP, FOSB, POD e cassete. Pode ser implementado em vários tipos de formas, tais como tipo câmara, tipo rack e outros que se adequem às especificações exigidas pelos diferentes processos de semicondutores. Especificação Limpeza do ambiente: Classe1 ~ Classe1000 Velocidade: 1,5 m/s Acc/Dec: 2,5m/sec² Vibração: Não superior a RMS 0,5 G Purga: Purga PN2 em todos os momentos Controlo ambiental: humidade, temperatura, pressão, concentração de oxigénio