Um Analisador de Gás Residual configurado para aplicações UHV exigentes
Os Hiden RGA para UHV são projetados e configurados para análise de gases residuais em aplicações exigentes de UHV onde são necessárias medições críticas em UHV.
Análise de gases residuais
Detecção de fugas
Dessorção
Estudos de gases de escape
Ciclos de cozedura
Desempenho da bomba
Contaminantes de gases de processo
O analisador HAL 201 RC inclui, como padrão, versões banhadas a ouro de todos os tipos de fontes de íons. A fonte de íons banhada a ouro é fornecida para minimizar a emissão de gases, adequada para aplicações onde a pressão total é < 5 x 10-10 mbar.
EPICS é o software padrão de controle de instrumentos usado em muitas fontes de luz ao redor do mundo e o sistema Hiden HAL é totalmente compatível com os drivers do software EPICS.
Fontes de íons banhadas a ouro para minimizar a emissão de gases na fonte
Ionizador de impacto de elétrons com filamento de Iridium revestido com óxido duplo
Duplo detector de Faraday/channeltron multipler de electrões
Pressão parcial mínima detectável de 5 x 10-14 mbar
Pressão máxima de funcionamento de 1 x 10-4 mbar
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