Sistema de feixe de íons focalizado NX2000

O NX2000 é um FIB-SEM optimizado para aplicações de semicondutores (análise de defeitos com importação de coordenadas KLARF, extração de lamelas TEM, desenvolvimento de dispositivos). Com um curso X,Y de 205 x 205 mm, a plataforma de amostras permite mesmo o processamento de superfícies completas de bolachas de 200 mm sem rotação da amostra. O Ga FIB montado verticalmente permite uma corrente de iões até 100nA a 30 kV. A coluna FE-SEM está equipada com um emissor de campo frio.