Elipsômetro espectroscópico

Horiba oferece uma grande escala das soluções para o controle da qualidade da película fina. O vasto leque do ellipsometer como in situ e é usado in-line em processos de controlo na pesquisa e na indústria. Da película fina que monitora ao traço do áre extensa e à caracterização in-line de dispositivos flexíveis. Os ellipsometers spectroscopic in situ permitem a monitoração tempo real e o controlo do depósito da película fina com uma definição do secundário-monolayer. Fornece a avaliação tempo real da espessura de película e de constantes óticas.