Monitor de gás de alta qualidade para monitorização do ponto final da limpeza da câmara
O IR-400 oferece monitorização em tempo real do ponto final de limpeza da câmara durante o processo de deposição. Ao optimizar o processo de limpeza, o IR-400 reduz o tempo de limpeza e a utilização de gás. Esta redução na utilização de gás de limpeza leva a uma redução dos danos na câmara e aumenta o tempo de vida de todos os componentes do sistema.
Monitorização multigás (suporta SiF4 e CF4) (IR-422)
Alta sensibilidade
Função de aquecimento da célula de gás até 180 dec.C
Ecrã múltiplo
Comunicação analógica/digital.
Benefícios da monitorização do ponto final em tempo real com o IR-400
Reduzir o tempo de limpeza da câmara
Reduzir a utilização de gases de limpeza
Processo de limpeza repetível e previsível
Vida útil mais longa dos componentes da câmara
---