Equipamento de monitoramento de gases IR-400

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Descrição

Monitor de gás de alta qualidade para monitorização do ponto final da limpeza da câmara O IR-400 oferece monitorização em tempo real do ponto final de limpeza da câmara durante o processo de deposição. Ao optimizar o processo de limpeza, o IR-400 reduz o tempo de limpeza e a utilização de gás. Esta redução na utilização de gás de limpeza leva a uma redução dos danos na câmara e aumenta o tempo de vida de todos os componentes do sistema. Monitorização multigás (suporta SiF4 e CF4) (IR-422) Alta sensibilidade Função de aquecimento da célula de gás até 180 dec.C Ecrã múltiplo Comunicação analógica/digital. Benefícios da monitorização do ponto final em tempo real com o IR-400 Reduzir o tempo de limpeza da câmara Reduzir a utilização de gases de limpeza Processo de limpeza repetível e previsível Vida útil mais longa dos componentes da câmara

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ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 jun 2024 Frankfurt am Main (Alemanha)

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    * Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.