Regulador de vazão de massa GR-511F

para gás

O GR-511F pode controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás das bolachas que são fixadas em posição por um sistema de mandril eletrostático. A estabilidade e a precisão do GR-511F tornam-no ideal para controlar o fluxo de hélio e árgon em sistemas de arrefecimento de bolachas. CARACTERÍSTICAS Controlo da pressão com maior estabilidade e precisão Sensor de caudal de massa (opção) Compatível com vários acessórios Conformidade com RoHS Exemplo de aplicação No exemplo abaixo, o GR-511F está a controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás das bolachas que são fixadas em posição por um sistema de mandril eletrostático. tipo de válvula - C: Normalmente fechada Integridade da fuga - ≤ 7 × 10-11 Pa-m3 /s (He) Pressão máxima de funcionamento - 300 kPa (A) Resistência à pressão - 350 kPa (A) Temperatura de funcionamento - 5-50 °C (Precisão garantida da temperatura: 15-40 °C) Alimentação eléctrica - +15 VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA Consumo de energia - 7,5 VA Interface - Analógica Gás *1 - He, Ar, N2 Ligações padrão - VCR de 1/4 polegada ou equivalente Pressão à escala completa - 1,333 kPa (A) (10 Torr), 2,666 kPa (A) (20 Torr), 6.666 kPa (A) (50 Torr) Gama de controlo da pressão - 1-100 %F.S. Precisão da pressão *2 - ±0,5 %R.S. Coeficiente de temperatura de zero - ±0,04 %F.S./°C Coeficiente de temperatura de amplitude - ±0,04 %R.S./°C Resposta *3 - ≤ 1 seg Sinal de ajuste da pressão - 0,1-10 VCC (1-100 %F.S.) Impedância de entrada ≥ 1 MΩ Opção:0,05-5 VDC (1-100 %F.S.) Impedância de entrada ≥ 1 MΩ Sinal de saída de pressão - 0-10 VDC (0-100 %F.S.) Resistência mínima 2 kΩ Opção:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Resistência mínima 2 kΩ