Sistema de detecção de partículas PD Xpadion

Plataforma de inspecção da próxima geração para responder às necessidades futuras O PD-Xpadion é a última geração da linha de produtos de inspecção de partículas da HORIBA. Baseado numa plataforma modular inovadora, o PD Xpadion é a ferramenta certa para satisfazer as necessidades actuais e futuras da inspecção de máscaras e películas nos processos de litografia e produção de máscaras. A automação da fábrica, combinada com um conjunto de tecnologia de base da HORIBA, permite aos utilizadores expandir o sistema PD Xpadion para incluir não só a inspecção e detecção de partículas, mas também a caracterização de partículas por análise Raman, espessura e uniformidade da película de película e ferramentas de monitorização da saúde da película. Características Sensibilidade de detecção ajustável através da utilização de uma combinação de sistemas ópticos Adaptação OHT, EFEM, multi-porta, multi-slot Capacidade de reanalisar os dados de inspecção para uma optimização mais rápida da receita de inspecção Opções de integração com outros produtos de sensores HORIBA, como a espectroscopia Raman e a elipsometria Função de redução de falsas detecções Software inovador com maior facilidade de utilização