Mesa de coordenadas XY XY-OF-100x100J-MLVT-25J-RTLA-30-100HJcom base giratóriamotorizadade 2 eixos
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Características
- Orientação
- XY, com base giratória
- Tipo
- motorizada
- Número de eixos
- de 2 eixos, de 3 eixos
- Outras características
- de alta precisão, compacta, miniatura, para microscópio, de alta velocidade, para manipulação de wafers, automática, com controlador, estreita
- Curso
MÍN: 50 mm
(1,969 in)200 mm
(7,874 in)MÁX: 600 mm
(23,622 in)- Velocidade
100 m/s
(328,08 ft/s)- Repetibilidade
MÍN: 1 µm
2 µm
MÁX: 5 µm
- Carga
MÍN: 1 kg
(2,2 lb)10 kg
(22,05 lb)MÁX: 50 kg
(110,23 lb)
Descrição
Combinação de estágios XY de estrutura aberta com acionamento por fuso de esferas com estágios Lift MLVT e mesa RTLA rotativa compacta de parafuso sem-fim
- Curso XY de 100 mm a 300 mm
- Elevação 12mm a 25mm
- Rotação ilimitada
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XYZR and XYZR SYSTEMS
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