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Serviço de deposição a vácuo química em fase de vapor
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Características
- Método
- química em fase de vapor
Descrição
Equipamento de pulverização catódica vertical de grande área
・Faixa efectiva de formação de película
300mm×100mm
・Configuração do equipamento
Câmara de pulverização catódica vertical montada em cátodo RAM
・Material da película
TCO (ITO etc.) / Metais (Cu etc.) / Óxidos metálicos (NiO etc.) / C (DLC) / Outros
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