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Sistema de inspeção óptico FlashScan®
automáticopara detecção de defeitospara a indústria eletrônica

Sistema de inspeção óptico - FlashScan® - KLA Corporation - automático / para detecção de defeitos / para a indústria eletrônica
Sistema de inspeção óptico - FlashScan® - KLA Corporation - automático / para detecção de defeitos / para a indústria eletrônica
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Características

Tecnologia
óptico
Modo de funcionamento
automático
Tipo
para detecção de defeitos
Aplicações
para a indústria eletrônica

Descrição

O sistema de inspeção de defeitos de máscaras em branco FlashScan® 211 apoia as lojas de máscaras e os fabricantes de máscaras em branco no cumprimento dos requisitos de defeitos de máscaras em branco para aplicações de litografia ótica e EUV. O sistema FlashScan 211 alia a sua elevada sensibilidade a uma velocidade de inspeção sem paralelo e a uma disposição automática dos defeitos, reduzindo o tempo de obtenção de resultados para uma vasta gama de aplicações. Aplicações Fabrico de máscaras em branco, Qualificação de máscaras em branco, Controlo de processos de retículos, Monitorização de equipamentos de processos de retículos

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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