Profilômetro óptico Zeta™-20

3Dcom interferometria de luz brancapara semicondutor

O perfilador ótico de bancada Zeta-20 é um sistema de medição de topografia de superfície 3D sem contacto. O sistema é alimentado pela tecnologia patenteada ZDot™ e pela ótica Multi-Mode, permitindo a medição de uma variedade de amostras: transparentes e opacas, de baixa a alta reflectância, de textura lisa a rugosa, e alturas de passo de nanómetros a milímetros. O Zeta-20 integra seis tecnologias de metrologia ótica diferentes num sistema configurável e fácil de utilizar. O modo de medição ZDot™ recolhe simultaneamente uma digitalização 3D de alta resolução e uma imagem de focagem infinita True Color. Outras técnicas de medição 3D incluem a interferometria de luz branca, a microscopia de contraste de interferência Nomarski e a interferometria de cisalhamento. A espessura da película pode ser medida com o ZDot ou com um refletómetro de banda larga integrado. O Zeta-20 é também um microscópio topo de gama que pode ser utilizado para análise de amostras ou inspeção automatizada de defeitos. O Zeta-20 suporta ambientes de I&D e de produção, fornecendo medições abrangentes da altura do passo, rugosidade e espessura da película, bem como capacidade de inspeção de defeitos. Caraterísticas Perfilador ótico fácil de utilizar com ótica ZDot e Multi-Mode para responder a uma vasta gama de aplicações Aplicações Altura do passo: altura do passo 3D de nanómetros a milímetros Textura: rugosidade 3D e ondulação em superfícies lisas a muito rugosas Forma: arco e forma 3D Tensão: tensão de película fina 2D Espessura da película: espessura da película transparente de 30nm a 100µm Inspeção de defeitos: captura de defeitos superiores a 1µm Revisão de defeitos: Os ficheiros KLARF são utilizados para navegar até aos defeitos para medir a topografia da superfície 3D ou para marcar a localização dos defeitos