Máquina de inspeção óptica Puma™

para wafer gravadopara a indústria eletrônicade defeitos

Sistemas de inspecção de defeitos em bolachas com padrão de varrimento a laser O sistema de inspecção por varrimento a laser Puma™ 9980 incorpora múltiplas melhorias de sensibilidade e velocidade que permitem a captura de defeitos críticos de interesse (DOI) com os rendimentos necessários para o fabrico de grandes volumes de dispositivos lógicos avançados de 1Xnm e dispositivos de memória DRAM e NAND 3D avançados. Parte de um portfólio de ferramentas avançadas de inspecção e análise de defeitos em bolachas, o Puma 9980 fornece a solução de maior rendimento para a monitorização da rampa de produção, melhorando a captura de tipos de defeitos em camadas de modelação avançadas. O Puma 9980 incorpora a capacidade NanoPoint™ design-aware, que produz resultados de inspecção mais accionáveis através de uma maior sensibilidade aos defeitos, de uma melhor separação sistemática dos defeitos e de uma maior precisão das coordenadas dos defeitos. Aplicações Monitor de linha, Monitor de ferramentas, Qualificação de ferramentas