Sistema de medição de temperatura SensArray®

de ferramentasautomático

Pacote de automação de medição de temperatura em Situ O pacote SensArray® Automation fornece uma rápida coleta automatizada das medições de temperatura da câmara de ferramentas de processo. O pacote inclui um FOUP de via aérea (OHT) compatível, estação de automação, controlador de automação do sistema e componentes de assento de software para PC de escritório. Os FOUPs SensArray podem ser processados da mesma forma que qualquer FOUP de produção, com a portabilidade directa dos dados para os gráficos SPC. SensArray Automation fornece melhorias de produtividade resultantes de ganhos na disponibilidade de ferramentas de processo, uso mais eficiente de recursos de engenharia e armazenamento centralizado de dados na base de dados MES da fábrica Aplicações Desenvolvimento de processos, Qualificação de processos, Monitorização de ferramentas de processo, Qualificação de ferramentas de processo, Correspondência de câmaras, Correspondência de ferramentas de processo