Sistema de medição de temperatura Thermal TRACK™ 5

em tempo realportátilautônomo

O sistema de aquisição de dados Thermal TRACK™ 5 suporta medições de temperatura de wafer in situ dos produtos de wafer instrumentados SensArray® Process Probe™ com fio. O sistema Thermal TRACK 5 combina a unidade de aquisição de dados sem fios ISIS 5 (Intelligent Sensor Interface System) com um assistente pessoal digital portátil para visualização em tempo real e registo de dados para a caracterização de perfis de temperatura. Ao fornecer representações gráficas informativas da temperatura da bolacha durante o aumento, o estado estável e o arrefecimento, o Thermal TRACK 5 fornece um método rápido e económico para gerir a maioria dos processos. Este sistema portátil fornece uma elevada exactidão, precisão e resolução para medições transitórias e em estado estacionário, fornecendo dados críticos para os engenheiros da fábrica calibrarem e verificarem os pontos de regulação da temperatura e efectuarem verificações de manutenção preventiva predefinidas. Aplicações Monitorização de ferramentas de processo