Máquina de deposição PVD PVD 75

por pulverização catódicapor evaporação térmicaa vácuo

PRO linha série de PVD – engasgar, feixe de elétron, térmicos versáteis, & plataforma orgânica do depósito da evaporação A PRO linha série de PVD utiliza um projeto modular configurável para uma variedade de aplicações do depósito do filme fino. Disponível em três tamanhos crescentes da câmara: PVD75, PVD200, e PVD500 Disponível com o magnétron circular compatível do ™ UHV de TORUS® Mag Keeper que engasga fontes em 2", 3", 4" diâmetros Disponível com os magnétrons lineares de TORUS® Disponível com fontes da evaporação do feixe de elétron do Multi-bolso Disponível com configurações térmicas múltiplas da fonte da evaporação Até duas fontes orgânicas da evaporação disponíveis opções da Multi-técnica disponíveis. Exemplos: Feixe de elétron + engasgando, feixe de elétron + evaporação Bombeamento áspero molhado ou seco, bomba do turbocompressor, ou opções criogênicas do bombeamento de vácuo alto da bomba disponíveis Configurações padrão compatíveis com até 11" a 20" carcaças do OD (durante o tamanho da câmara); até o aquecimento 850°C, refrigerando, e inclinando as opções disponíveis Opções únicas e da multi-bolacha da carga de fechamento disponíveis para as carcaças até 6" A PRO linha série de ferramentas de PVD inclui o pacote inovativo do controle avançado do eKLipse™ de KJLC