Encoder linear incremental BS78

ópticosem contatoaberto

Alta velocidade e alta resolução, mantendo ao mesmo tempo uma medição estável e de ultraprecisão. Ideal para fases de precisão, sistemas de inspecção/fabricação de semicondutores, e máquinas de processamento de ultraprecisão. Escala de alta resolução com espaçamento de sinal de cerca de 138 nm, sistemas de interferómetro de onda de luz com melhor desempenho Alta estabilidade, não afectada pela humidade, pressão do ar e perturbações do ar Precisão do ponto de referência: ±0,1µm Precisão da escala: ±0,04µm (comprimento de medição: 40mm) O desenho sem contacto elimina o erro de retorno. Comprimento de medição: 40 a 420mm, 9 tipos (-R/-RS) Comprimento de medição: 10 a 420mm, 10 tipos (-N/-NS) Modelos especiais não magnéticos e compatíveis com o vácuo disponíveis Utilização de vidro de baixa expansão: -0,7 x10-6 °C (comprimento de medição: 10 a 420 mm) Resolução: 14.1 pm