para condições ultra-altas do vácuo até 10^ (- 9) mbar
um curso de 3,5 milímetros no sentido de x, de y e de z
uma pegada de 15 x 15 milímetros
Fases diminutas ultra pequenas da tradução com movimentação com inércia eclético piezo. Edição de UHV de MS15.
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