Interferômetro para medição de deslocamento subnanométrico interferoMETER 5600-DS

para medição de distânciaópticode luz branca

O interferómetro de luz branca IMS5600-DS é utilizado para medições de distância com a mais alta precisão. O controlador oferece uma calibração especial com avaliação inteligente e permite medições absolutas com resolução subnanométrica. O interferómetro é utilizado para tarefas de medição com os mais altos requisitos de precisão, por exemplo, em electrónica e produção de semicondutores. Para aplicações de vácuo, a Micro-Epsilon oferece sensores especiais, cabos e acessórios de alimentação. Estes sensores e cabos são isentos de partículas a um elevado grau e podem mesmo ser utilizados em UHV. O sistema fornece valores de medição absolutos e pode, portanto, ser também utilizado para a medição de perfis de degraus à distância. Graças à medição absoluta, os degraus são amostrados com alta estabilidade de sinal. Ao medir em objectos em movimento, as diferenças de altura de saltos, degraus e depressões podem assim ser detectadas de forma fiável. O sistema de medição oferece uma resolução sub-nanométrica com uma grande distância de desvio em relação ao intervalo de medição. Com a medição de distâncias de vários picos em objectos transparentes, são avaliados simultaneamente até 14 valores de distância. Por exemplo, pode ser determinada a distância entre o vidro e uma placa de suporte. O controlador pode então calcular a espessura do vidro a partir dos valores de distância. Os interferómetros IMS5600-DS podem ser utilizados para tarefas de medição em ambientes de vácuo e salas limpas onde os interferómetros alcançam uma resolução na gama de subnanómetros.