Controlador de vazão mássica termal 1640A

para gás

Os instrumentos 1640 de MKS Pressão-basearam o controlador do fluxo maciço são um instrumento metal-selado com padrão uma pegada de 3 polegadas, projetada medir e para controlar fluxos do gás na baixo-linha exerça pressão sobre as aplicações onde os controladores térmicos do fluxo maciço são limitados em sua habilidade de medir exatamente o fluxo. O 1640 utilizam o princípio de sónico correm através de um orifício, uma circunstância estada conforme quando a pressão rio acima do controle é pelo menos duas vezes a pressão a jusante. Sob estas circunstâncias, o fluxo maciço é proporcional à pressão do controle. No 1640A Pressão-Baseado o controlador da Massa-Flo, um manómetro da capacidade de Baratron® monitora a pressão rio acima do orifício crítico. Esta pressão é proporcional ao fluxo. A pressão medida é comparada na eletrônica de controle ao ponto ajustado do fluxo. Um sinal de controle é gerado então conduzir como necessário a válvula de controle proporcional à condutibilidade para trazer a pressão real do controle (fluxo) no acordo com o ponto ajustado do fluxo.