Espectrômetro de massa RGAde processoPMT
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Características
- Tipo
- de massa
- Âmbito de utilização
- de processo
- Detector
- PMT
Descrição
A série de RGA, manufacturado por instrumentos de MKS, é um tipo de espectrómetro maciço do processo. O dispositivo é um instrumento inovativo da monitoração de processo. São combinados com os pacotes de aplicação tais como analisadores de gás residuais, RGA, dispositivos analíticos e software de controle.
A monitoração do vácuo consiste no vácuo ultra elevado, nos processos do CVD, na linha de base RGA do vácuo, etc.
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