Medidor de planeza FLATSCAN

de superfícieóptico

Medição automatizada em 2D ou 3D, sem contacto, da curvatura da urdidura, arco, inclinação e superfície com módulo de software para cálculo da tensão em película fina (tensão em wafer) de wafers e substratos de vidro. Aplicação FLATSCAN serve para a medição sem contato de planicidade, ondulação, raio médio e tensão de filme fino de todos os tipos de superfícies refletoras, como wafers de silício, espelhos, espelhos de raio X (espelhos goebel), superfícies metálicas ou polímeros polidos. O princípio de medição óptica garante uma alta precisão. Baseia-se na medição do ângulo de reflexão de um raio laser incidente perpendicular ao longo de uma linha com largura de passo constante. A forma da superfície pode ser calculada exactamente a partir da alteração do ângulo de reflexão entre os pontos de medição. Para algumas aplicações, o próprio ângulo de reflexão é interessante. Portanto, o software oferece adicionalmente esta opção de medição. Para aplicações em tecnologia de semicondutores, a tensão do filme fino em revestimentos pode ser calculada pelos raios medidos antes e depois do revestimento. Grande campo de medição Uma característica especial do princípio de medição utilizado é a sua independência do campo de medição. Portanto, o diâmetro do campo de medição padrão de 200 mm pode ser aumentado quase arbitrariamente sem diminuição da precisão. Alta precisão de medição O FLATSCAN é caracterizado por uma alta precisão de medição. A resolução dos sistemas de medição é de 0,1 arcos por segundo. A reprodutibilidade da forma da superfície é de 100 nm.