Regulador de vazão mássica termal II

para gáspara nitrogênioem aço inoxidável

Visão geral
O controlador de fluxo mássico Series II Standard fornece medição e controlo precisos numa ampla faixa de vazões (0,014 sccm a 1.670 slpm). Projetado para aplicações industriais e laboratoriais, oferece opções multi-gás e multi-faixa, interfaces de comunicação selecionáveis e partes molhadas em 316L resistentes à corrosão.

Principais características

• Faixa de fluxo: 0,014 sccm a 1.670 slpm
• Alta precisão: ±0,5% leitura + ±0,1% FS (varia conforme a faixa)
• Razão de turndown: 1:50 (até 1:187,5 em modo digital)
• Material molhado/corpo: aço inoxidável 316L; acabamento superficial ≈ 0,8 µm
• Comunicação: analógica ou digital (RS-232, DeviceNet, Profibus-DP, Modbus-RTU)
• Opções de válvula: normalmente aberto ou normalmente fechado

Especificações técnicas

• Vazão máxima: até 1.670 L/min
• Faixa de controlo de pressão: 928 PSIA – 1.450 PSIA
• Tipos de conexão: Compression, Face-Seal Male, outros; tamanhos 1/8"–1/2" (6 mm–20 mm)
• Materiais de vedação: EPDM, Kalrez, Viton (padrão)
• Detalhes de precisão: ±0,5% leitura + ±0,1% escala completa (±1% FC para 3–5 ml/min; ±2% FC para <3 ml/min)
• Repetibilidade: < 0,2% leitura
• Tempo de assentamento: 2–4 segundos (padrão)
• Estabilidade de controlo: < ±0,1% FC (típico a 1 L/min N2)
• Temperatura de operação: -10 °C a 70 °C
• Coeficiente de temperatura: zero < 0,05% FC/°C; span < 0,05% leitura/°C
• Coeficiente de pressão: ~0,1 ATM (N2); ~0,01%/ATM (H2)
• Taxa de fuga: abaixo de 2 x 10-9 mbar·L/s He (testado)
• Aquecimento: 30 min para precisão ótima; 2 min para ±2% FC
• Proteção: IP40
• Alimentação: +15–24 Vdc, consumo máx. 320 mA (adicionar 50 mA para Profibus)
• Conexão elétrica: conector D de 9 pinos

Aplicações

• Fornecimento e mistura de gases
• Processos de semicondutores e P&D
• Instrumentação analítica e calibração
• Controlo de processo industrial e plantas piloto

Informações de encomenda

• Especifique faixa de fluxo, gás de calibração, tipo/tamanho de conexão, material de vedante e ação da válvula
• Escolha a opção de comunicação (analógica, RS-232, DeviceNet, Profibus, Modbus)
• Acessórios: suportes de montagem, certificados de calibração, cabos de interface