Regulador de pressão de gás SMSQ2Micro series

de diafragmade simples estágioem latão

As séries SMSQ2Micro e SMSQ2Micro130E são os reguladores de pressão UHP miniatura mais avançados do mercado. Estas séries proporcionam um controlo de pressão extremamente preciso e fiável, que melhora o desempenho do MFC (Controlador de Fluxo Mássico), essencial para a repetibilidade e o rendimento da produção de semicondutores. As séries oferecem ainda uma integridade superior contra fugas e uma baixa geração de partículas, ambas características essenciais para aplicações de semicondutores. Os reguladores são adequados para utilização com gases inertes e corrosivos e proporcionam uma resposta extraordinária a variações bruscas na procura de caudal. A série utiliza um design exclusivo de diafragma ligado com autocentragem, que proporciona uma vedação fiável da sede e uma regulação de pressão fiável. A geração e o aprisionamento de partículas são minimizados através da eliminação da mola do obturador e das roscas de retenção da sede, o que melhora ainda mais a limpeza do processo e o desempenho de purga. Os componentes em contacto com o fluido da Série SMSQ2Micro são fabricados a partir de metais especiais para proporcionar uma resistência à corrosão excecional, integridade contra fugas e vida útil máxima a pressões de entrada até 250 psig. O corpo é eletropolido internamente e fabricado a partir do aço inoxidável Vericlean™ 316L, exclusivo da Parker Veriflo, que excede os requisitos de material da norma Semi F20; cada diafragma e válvula de retenção são fabricados em Hastelloy C-22®; e cada sede está disponível em PCTFE ou Vespel®. Tanto o SMSQ2Micro como o SMSQ2Micro130E apresentam uma pegada de montagem superficial reduzida, em conformidade com as Especificações de Interface Modular SEMI, e estão disponíveis nas configurações de vedação tipo «c» e «w».