Contador de partículas aerotransportadas de condensação NanoAir™ 10

O NanoAir™ 10 Contador de Partículas de Condensação (CPC)é um novo produto revolucionário da Particle Measuring Systems (PMS). Ele fornece a sensibilidade de um CPC com a facilidade de uso e a funcionalidade de um contador de partículas de sala limpa tradicional. Projetado para monitorar ambientes ultralimpos, oferece sensibilidade de detecção de 10 nm a uma taxa de fluxo de amostra de 2,8 L/min (0,1 CFM). O tamanho do NanoAir 10 é 83% menor do que os produtos concorrentes, tornando-o prático para uso em qualquer lugar em ambientes ultralimpos, incluindo dentro de ferramentas de processo de semicondutores e módulos front-end de equipamentos (EFEM). O design inovador do sistema de manuseio de fluido de trabalho com patente pendente é robusto e eficiente, permitindo operação contínua 24 horas por dia, 7 dias por semana, 365 dias sem a necessidade de manutenção ou intervenção do usuário de qualquer tipo entre o reabastecimento de fluido de trabalho exigido anualmente e a calibração. Assim, reduzindo as interrupções de amostragem e coleta de dados e o tempo de inatividade da ferramenta. Um produto complementar de manifold de 10 portas (ParticleSeeker™) oferece suporte a aplicações que exigem que vários locais de amostra sejam monitorados em sequências sequenciais ou programadas. Além disso, o NanoAir é compatível com gás de alta pressão com o HPD-III do PMS, e os dados podem ser visualizados, analisados e relatados usando o software de monitoramento de instalações da PMS Facility Net ou transmitidos diretamente para sistemas SCADA de terceiros ou entradas de ferramentas de processo. A Particle Measuring Systems projeta, fabrica, instala, calibra