Testador CMP para polimento controlado de I&D, desenvolvimento
desenvolvimento de processos e testes de materiais de polimento.
Caraterísticas principais:
Coeficiente de fricção em tempo real
Força e velocidade de descida controladas
Profilómetro 3D integrado
Podem ser montados vários tamanhos de bolacha
Temperatura e emissão acústica em linha para estudar o processo
Faça avançar o seu processo e desenvolvimento de produtos com a nossa polidora CMP R&D. Optimizamos o desenvolvimento de produtos fornecendo vários processos de polimento numa única plataforma. Estes processos incluem uma vasta gama de velocidades, controlo de força descendente em circuito fechado, suportes de bolacha versáteis e um sistema automático de fornecimento de lama. Além disso, o testador CMP monitoriza vários sinais em linha durante o processo de polimento.
Para além do polimento de bolachas e substratos, o aparelho de teste é fornecido com um perfilómetro de superfície em linha. Esta combinação explica como a superfície, a fricção e o desgaste da superfície mudaram e porque é que as imperfeições ocorrem.
Caraterísticas
Tecnologia e velocidade incomparáveis da célula de carga
Durante o processo de polimento, as medições de força em linha de alta resolução quantificam as interações interfaciais. Para otimizar o processo, a CP-5000 proporciona um controlo total da força de descida. Isso inclui velocidade e taxas de fluxo baseadas em protocolos de teste personalizados.
Condicionador de almofadas
Suporte do condicionador de almofada superior autonivelante com rotação ativa e oscilações horizontais.
Acomoda condicionadores de 0,5" a 4,25"
Fiável e preciso
Cada testador CMP é versátil com muitos sensores e opções de temperatura. O estágio XY motorizado vem com troca rápida, fornecendo dados significativos com facilidade.
Facilidade de uso
O CP-5000 vem com suportes de troca rápida. Como resultado, consegue-se uma montagem rápida e fácil da pastilha e das almofadas.
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