Purificador de gás de piso PS5 Series

com filtrode argônio

Os purificador de gás raro de PS5 MegaTorr são purificador getter-baseados aquecidos projetados especificamente fornecer o gás ultra-alto do hélio ou do argônio da pureza (UHP) para aplicações do semicondutor. A liga patenteada do getter opera-se em temperaturas elevados para remover as impurezas formando ligações químicas irreversíveis. As impurezas removidas não estarão liberadas em qualquer circunstância quando o purificador é operado dentro da especificação. Os níveis de impureza da tomada para o O2, o H2O, o CO, o CO2, o H2, o CH4 (THC ou hidrocarbonetos totais) e o N2 são reduzidos às partes por bilhão concentrações. Estes purificador são projetados durar anos múltiplos, mas a vida depende das concentrações de impureza da entrada e do caudal médio. Contacte por favor a fábrica para cálculos da vida. Uma vez que a coluna é consumida pode ser substituída com uma coluna nova, para uma vida nova. Rio abaixo das colunas calorosos do getter, as impurezas do hidrogênio são removidas por um cartucho secundário patenteado do getter da temperatura ambiental, conhecido como a unidade da remoção do hidrogênio (HRU).