Mecanismo de revestimento de alta taxa de dissociação com quase nenhum bombardeamento de iões para manter boas características de interface onde se pode alcançar uma alta mobilidade de suporte nesta tecnologia de revestimento fiável.
Equipamento Aplicação
Revestimento de Camada Condutora Transparente (TCO).
Processo
Iões alvo de estado livre elevado sublimados por feixe de electrões de baixa energia recombinam no substrato para formar uma película de alta qualidade.
Características
- O principal fabricante mundial de células solares heterojunções escolhe apenas equipamento RPD.
- Até 80% de taxa de dissociação indium, conseguindo uma película condutora transparente de alta qualidade.
- O processo de revestimento é inferior a 30eV de bombardeamento iónico, não danifica a película de silício amorfo, e mantém boas características de interface.
- A elevada mobilidade do transportador e a baixa concentração do transportador asseguram uma excelente condutividade e uma elevada transmitância de longo comprimento de onda.
- A mobilidade portadora IWO até 80cm2/V.s, onde a mobilidade portadora ICO pode atingir os 130cm2/V.s.
- Verificação da produção em massa a longo prazo dos fabricantes de células HJT, a eficiência de conversão da célula solar HJT fabricada pela RPD é 0,4% superior à de outros equipamentos.
- O equipamento RPD de tipo linear e de tipo loop pode ser fornecido de acordo com o pedido do cliente.
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