Sistema de posicionamento de 3 eixos

de pórticopara inspeção de wafers e metrologiaalta precisão

Soluções de tela plana personalizadas Nossa solução para a exigente indústria de FPD abrange processos desde a AOI até o testador de matriz em medições de espaçador fotográfico. Mais de 800 sistemas são instalados em todo o mundo. Alguns sistemas são fabricados e montados diretamente na Ásia A fim de reduzir a TCO a SCHNEEBERGER inova ao integrar a nossa própria alternativa ao granito: Mineralcast Essa estrutura de alto amortecimento da casta ajuda a otimizar, por exemplo, o peso total do sistema, o que reduz os custos de manuseio e expedição Saiba mais sobre o elenco mineral Especificações típicas para "sistemas de grande formato" em POI* - Configuração: XYZ ou + Z (gantry) - Viagem: até 3500 x 2700mm - Precisão: ≤ 10 µm (sobre TIR, mapeado) - Repetibilidade: ≤ 2 µm - Estabilidade: ≤ 10 nm (dentro de 1s ptp) - Mover e acalmar: < 500ms para 300mm - Velocidade Cst: < 0,01% a <100mm/s - Retidão: < 20um acima de 3000mm - Flatness: < 20um acima de 3000mm