Sistema de manipulação automático SYZ-VI-B

verticalhorizontalcontínuo

Carga e descarga de wafer integrada, descarregando os wafers do barco de quartzo para o cassete ou carregando os wafers do cassete para o barco de quartzo. Disponível para wafers duplos em um slot que realizam a difusão lateral única ou disponível para wafer simples em um slot para difusão lateral dupla. Com carga e descarga contínua de wafer pode garantir a produção contínua ou ser usado somente para carga ou descarga de wafer também está disponível. - Com o elevador de seis eixos importado para carregar/descarregar e garante alta confiabilidade na coleta e colocação de wafers;-Com o software IPC baseado na execução do computador mestre no IHM, a interação de dados de alta velocidade pode ser realizada pela comunicação em rede. - Com componentes de detecção precisos para dectectar a posição dinâmica do barco de quartzo para rectificar o posicionamento. - Com sistema de refrigeração antes do processo de descarga, o que pode evitar qualquer efeito nocivo sobre os wafers e equipamentos causado pela alta temperatura. - O pente,pinça adota tecnologia especial de processamento que reduz muito as marcas nos wafers - A cassete pode ser vertical ou horizontal, o cliente pode escolher de forma flexível de acordo com suas necessidades - Função MES, detecção de resistência da folha e AGV, opcional.