·Conceção de câmara única com dimensões compactas e tempo de operação reduzido.
·Disponível para a deposição de películas compostas multicamadas com diferentes precursores e materiais, com ampla escalabilidade do processo.
·O controlo preciso da espessura e uniformidade da película garante uma estrutura densa com elevada conformidade, baixa densidade de defeitos e excelentes resultados.
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