·Câmara combinada de evaporação e pulverização catódica;
·Câmara de evaporação: evaporação unilateral para o revestimento de materiais de evaporação a baixa temperatura (Al, Li, etc.);
·Câmara de pulverização catódica: 6 pares de alvos rotativos, substituíveis por alvos planos;
·Câmara de pós-processamento: disponível para aquecimento, arrefecimento, tratamento de gases e processamento por plasma, etc.
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