Envernizadora de filme plástico

Revestimento piloto PECVD Aplicação O revestimento piloto PECVD destina-se à produção de pilhas p-i-n de silício hidrogenado amorfo em folhas de metal. O coatar é usado como uma ferramenta de experimentação para a otimização da deposição de vapores químicos plasmáticos melhorados de revestimentos funcionais e produção de materiais de teste. Engenharia e Tecnologia O revestimento piloto PECVD é uma instalação do tipo rolo a rolo projetada para revestimento a vácuo unilateral de folhas metálicas de até 350 mm de largura. O revestimento é depositado por uma descarga de RF. A zona de deposição consiste em um eletrodo de RF dentro de um volume estanque ao gás. As condições livres de contaminação são fornecidas nas zonas de deposição. O substrato é pré-aquecido antes da deposição do revestimento, aquecido durante o processo de deposição e resfriado após o revestimento. Os gradientes de temperatura na folha não excedem 4 oC/cm. A temperatura nos dispositivos elétricos, a placa curva e o substrato são monitorados com termopares e sensores IR. O substrato é mecanicamente suportado por uma placa curvada aquecida. A placa curva é composta por vários segmentos com um raio de curvatura de 7,5 metros. O coater está equipado com um sistema de enrolamento reversível simétrico que proporciona tensão e manuseio otimizados da folha sem arranhar e enrugar. O sistema de bombeamento é composto por bombas de reforço mecânico e bombas de desbaste a seco. A pressão em cada zona de depósito pode ser variada independentemente com válvulas de acelerador colocadas nas linhas de bomba. O sistema de controle monitora e controla todos os parâmetros de processo especificados. Ficha de Dados Substrato: folhas de metal Largura do substrato: 350 mm Espessura do substrato: 50 ... 100 µm Revestimento: a-SiH Diâmetro máximo do rolo: 400 ... 550 mm Zonas de depósito: 8 descargas capacitivas de RF