Sistema de posicionamento trípode TRIPOD 52-6DoF

XYa vácuo

O TRIPOD 52-6DoF é compatível com o Sistema Modular CLS-52 e consiste de um estágio de ponta inclinada, como o seu equivalente maior, o TRIPOD 92-6DoF A disposição das três torres permite um movimento de rotação e inclinação da placa superior na faixa de ±8,5° para Θx, ±9,5° para Θy e uma translação linear na direção Z de 5 mm. A placa superior inclui uma ranhura de montagem para um estágio de rotação SR-3211 para adicionar um quarto grau de liberdade à configuração. A placa inferior, pelo contrário, permite uma montagem directa a uma placa de pão ou a uma plataforma XY que consiste em duas traduções do CLS-52 linear DeepL. A possibilidade posterior cede a um 5D ou em conjunto com o SR-3211 a um sistema de posicionamento 6D. Mecânica Viagem [mm] - 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) Viagens [ - 17 (Θx); 19 (Θy); ilimitadas (Θz) Max. Força Normal [N] - 5 Max. Força Horizontal [N] - 2,5 Dimensões [mm] - 90 x 90 x 80 Altura da plataforma acima do solo [mm] - 80 Peso [g] - ~ 550 Fechado-Loop Tipos de sensores - S Incremento mais pequeno [nm] - 1 Incremento mais pequeno [µrad] - 1 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidade de loop fechado, 1 mm de curso MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [µrad] - < ± 15 Opções Opções de Vácuo - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opção Não-Magnética - Sim (-NM)