Sonda óptica SP series

de laboratóriopara caracterização elétrica

Graças ao seu sistema de movimento totalmente controlado em circuito fechado, o SMARPROBE permite um posicionamento com uma repetibilidade e estabilidade inigualáveis - mesmo à escala nanométrica. Isto elimina o desvio, a correção manual e a adivinhação durante a sondagem, tornando as medições complexas mais rápidas, mais fiáveis e altamente automatizáveis. É isso que significa circuito fechado - e é isso que faz a diferença. O SMARPROBE SP4 oferece 4 manipuladores, enquanto o SP6 expande este número para 6 e o SP8 suporta até 8 manipuladores. Cada sistema inclui uma fase de amostragem. Todos os manipuladores possuem três graus de liberdade e estão equipados com codificadores ópticos de resolução nanométrica para sondagem eléctrica de alta precisão. As rotinas de posicionamento inteligente implementadas no software de controlo dedicado, juntamente com a capacidade de carregar até quatro stubs de amostras SEM, maximizam a facilidade de operação e o rendimento de qualquer tarefa de nanoprobing. Construído com base no know-how líder da SmarAct em nanoposicionamento baseado em piezoeléctricos, o design mecânico robusto garante a mais elevada estabilidade e uma operação intuitiva. Todos os sistemas SMARPROBE são compatíveis com uma vasta gama de FIBs, SEMs e microscópios ópticos, o que os torna uma solução ideal tanto para a adaptação de fluxos de trabalho existentes como para a integração em novos instrumentos. Os sistemas de sondagem SMARPROBE suportam técnicas de caraterização eléctrica que vão desde EBIC/EBAC de 2 contactos a medições avançadas de sondagem de 4 e 6 pontos, o que os torna uma ferramenta indispensável para laboratórios de análise de falhas de semicondutores. Principais vantagens: Operação semi-cega no SEM. Graças à manutenção ativa da posição, ao baixo desvio térmico e à funcionalidade Point&Click, o posicionamento da sonda pode ser efectuado com uma exposição mínima ao feixe de electrões,