Nanoposicionador com encoder integrado METIRIO Readhead

A cabeça de leitura constitui o núcleo do codificador METIRIO®. Todos os componentes ópticos e eléctricos foram incorporados num pacote flip-chip de dimensões muito reduzidas. Especificações Tamanho compacto [mm] - 6,6 x 5,1 x 1,7 Baixo consumo de corrente [mA] - 20 Resolução de posição [nm] - 0,4 @ 20 mm/s Alta velocidade [m/s] - 10 Comprimento de onda central [nm] - 850 (invisível) Dados eléctricos Tensão de alimentação VDD [V] - 3 a 5,5 Sinal de posição de saída (senoidal) [Vpp] - 1 Sinal de referência de saída (quadrado) [VDD] - RS485 Largura de banda (f3dB) [kHz] - 500 Suscetibilidade ESD (HBM) [kV] - 4 em cada pino Tempo de arranque [µs] - 150 Interface digital - TWI Ambiente Compatibilidade UHV [mbar] - HV (1E-6); UHV (1E-11) Temperatura máxima de cozedura [°C] - 160 Gama de temperaturas de funcionamento [°C] - 0 - 80 Humidade (40 °C) [ - 80 sem condensação Compatibilidade da escala Tipo de grelha - reflectora Passo da escala [µm] - 20 Tipo de escala - linear, convexa, rotativa (até 12 mm de diâmetro) Distâncias de trabalho permitidas [mm] - 1,2 mm (padrão), mais opções a pedido