Mesa de coordenadas com base giratória MR-30028

em malha fechadade alumíniocom acionamento direto

O estágio rotacional SMARSHIFT MR-30028 é um rotador de grande área com um diâmetro de 300 mm e uma grande abertura de 110 mm. Apresenta uma velocidade elevada, um binário elevado e uma longa vida útil com uma precisão sem compromissos. O seu tamanho compacto e perfil baixo simplificam a integração em sistemas existentes e deixam espaço suficiente para a sua aplicação. Aplicações O rotador MR-30028 foi especificamente concebido como uma plataforma de rotação de bolachas. Como plataforma para bolachas de até 300 mm (12"), pode ser utilizado para métodos de metrologia (como reflectometria, espetroscopia de reflexão, elipsometria espectroscópica (VASE) e outros) ou para fabrico (para colagem de bolachas, litografia EUV e outros). Outras áreas de aplicação incluem o alinhamento ótico de objectos mais pesados na indústria fotónica e na astronomia. Especificações Força Normal Máx. Força normal [N] - 1000 Dimensões [mm] - ⌀ 300 × 28 Peso [g] - 5000 Abertura [mm] - 110 Material da base Material da base - Alumínio, anodizado preto Circuito aberto Velocidade angular [°/s] - 540 - Circuito fechado Tipos de sensores - S Resolução do sensor [µ - <1 Velocidade angular [°/s] - 540