Circulador de refrigeração para a indústria dos semicondutores Nikola series

de condensação por águatermoelétrico

REFRIGERADORES SEMICONDUTORES Nikola 3K/5K Resfriadores termoelétricos de alta capacidade para Plasma Etch e outras Aplicações Semielétricas Os nossos refrigeradores de maior capacidade concebidos especificamente para o processamento de semicondutores 3.000 ou 5.000 watts de capacidade de refrigeração ±0.05°C Estabilidade/ repetibilidade de temperatura Duas opções de bombas para caudais até 10 gpm e pressão até 100+ psig Reduz as variações de wafer para wafer e elimina o efeito do primeiro wafer Até 80% mais eficiente em termos energéticos do que os refrigeradores baseados em compressores Utiliza tecnologia termoelétrica para alta confiabilidade e custo de manutenção reduzido Design modular para fácil manutenção Elimina o Freon e outros refrigerantes nocivos para cumprir os novos regulamentos ambientais Utiliza menos água e refrigerantes caros, tais como Fluorinert ou Galden Interfaces de comunicação disponíveis para os sistemas AMAT, LAM, TEL e Hitachi Energia universal - Ligue e vá para qualquer lugar do mundo Uma excelente solução para gravura de plasma, cinza de plasma, metrologia, CMP e outros processos