Resfriador de água ThermoRack 1801

compactotermoelétrico

REFRIGERADORES SEMICONDUTORES ThermoRack 1801 Resfriador para montagem em rack de maior capacidade para Plasma Etch e outras Aplicações Semi 1.800 watts de capacidade de refrigeração - 50% mais capacidade do que o ThermoRack 1201 no mesmo compartimento de rack 5U ±0.05°C Estabilidade/ repetibilidade de temperatura Faixa de operação de -20°C a 70°C Concebido para uma resposta muito rápida Disponível em configurações padrão de alto fluxo, médio fluxo e baixo fluxo Reduz as variações de wafer para wafer e elimina o efeito do primeiro wafer Até 80% mais eficiente em termos energéticos do que os refrigeradores baseados em compressores Utiliza tecnologia termoelétrica para alta confiabilidade e custo de manutenção reduzido Design simples - apenas 2 peças móveis Elimina o Freon e outros refrigerantes nocivos para cumprir os novos regulamentos ambientais Utiliza menos água e refrigerantes caros, tais como Fluorinert ou Galden Tamanho compacto: Até 6 sistemas TR1801 cabem no espaço de 1 refrigerador de compressor Interfaces de comunicação disponíveis para os sistemas AMAT, LAM, TEL e Hitachi Energia universal - Ligue e vá para qualquer lugar do mundo Uma excelente solução para gravura de plasma, cinzas de plasma, CMP e outros processos