Equipamento de monitoramento de gases PPM100

O PPM100 é um controlador/monitor autónomo para analisadores de gases residuais SRS. Mede as pressões parciais dos RGAs SRS e a pressão total de até quatro manómetros de capacitância. A saída gráfica está disponível num visor LCD de ecrã táctil. O PPM100 inclui capacidade de controlo de processos de 8 canais, quatro portas de E/S analógicas, interfaces de computador RS-232, USB e GPIB e uma interface Web. Análise de gases residuais O PPM100 foi concebido para monitorizar e controlar um único SRS RGA. Uma interface de utilizador orientada por menus permite ao operador programar facilmente os parâmetros RGA a partir do painel frontal (ou seja, não é necessário um PC anfitrião). Os dados do RGA podem ser visualizados como uma varredura analógica, pressão parcial vs. tempo, tendência de vazamento (com sinal de áudio) ou leituras de massa única. Estes dados também podem ser ligados a alarmes, relés de controlo de processos e portas analógicas para controlo em circuito fechado de gases de componentes específicos. Captura de ecrã 1 E/S analógica O PPM100 tem quatro portas de E/S analógicas configuráveis. Estas podem ser utilizadas como saídas para controlar equipamento de vácuo auxiliar, como aquecedores, actuadores, fontes de iões, controladores lógicos programáveis e controladores de aceleração. Como entradas, podem ser monitorizados simultaneamente até quatro manómetros de capacitância. Registo de dados Os dados de todos os manómetros (e de todas as entradas analógicas) são armazenados a uma taxa definida pelo utilizador. As aplicações típicas incluem a captação de curvas de bombagem ou de ventilação, a monitorização de sinais do controlador de fluxo de massa durante os processos de deposição e a monitorização de temperaturas e de outras variáveis dependentes do tempo durante a cozedura ou tratamentos térmicos.