ResumoCavidades de alta precisão são formadas no interior de wafers de vidro, proporcionando fundos finos e transparentes que permitem transmissão óptica ou observação direta (por exemplo, microscopia por imersão). As cavidades podem ser produzidas em várias formas e secções transversais para atender a requisitos ópticos e de encapsulamento.
CaracterísticasAcabamento transparente no fundo da cavidadeFundo de cavidade fino e transparente que permite a transmissão sem distorção de luz laser ou LED e observação óptica de alta resolução.
Opções de metalização e geometriaSuperfícies superior, inferior e paredes laterais podem ser metalizadas para formar eletrodos, trilhas ou blindagem. Seções transversais disponíveis: reta, cônica e degrau. São suportadas várias formas de cavidade.
AplicaçõesProjetor- Componentes de visualização para sistemas de projeção e pico‑projetores.
Semicondutor- Chaves RF‑MEMS e coberturas para sensores de imagem.
AV / Mobile- Chaves/relés RF, sensores de pressão, giroscópios, acelerómetros e sensores de imagem para smartphones, consolas portáteis, câmaras digitais e sistemas de navegação automóvel.
- Componentes de visualização para dispositivos móveis.
Automóvel- Sensores de pressão, sensores de aceleração, giroscópios, tampas de LED e outras caixas para sensores automóveis.
Especificações padrão- Material: vidro
- Tamanho do vidro: ≤φ200 mm
- Espessura mínima: 0,15 mm
- Tolerância de espessura: ±0,01 mm
- Tamanho mínimo da cavidade: φ0,1 mm / □0,07 mm
- Forma da cavidade: sem restrição
- Tolerância de dimensão da cavidade: ±0,02 mm
- Estilhaçamento: ≤10 μm
- Seção da cavidade: Reta / Cônica / Degrau
- Metalização: possível em superfícies superior, inferior e paredes laterais
Características técnicas- Cavidades de alta precisão formadas em wafers de vidro com fundos finos e transparentes adequados para aplicações ópticas.
- Acabamento transparente no fundo para transmissão laser/LED e observação microscópica.
- Metalização possível em superfícies e paredes para eletrodos, traçados ou blindagem.
- Geometria de cavidade flexível e tolerâncias dimensionais rigorosas, adequada para aplicações em semicondutores e ótica.