Grelha

Resumo
Furos quadrados micro perfurados sem cantos arredondados (R=0) que permitem padrões de passo reduzido e pequeno diâmetro anteriormente impraticáveis.

Características

• Micro furos passantes de alta densidade
  • Exemplo: até 150.000 furos de 0,1×0,1 mm em uma pastilha de 3 polegadas
• Fuços passantes com alta razão de aspecto (até 1:10)
  • Faixa típica 1:8–1:10; seções transversais retas ou cônicas disponíveis
• Minimização de lascamento
  • Melhora o contato para a união anódica com Si

Opções

• Metalização das paredes laterais
  • Reduz interferência óptica ou absorção entre os furos
• Geometria de cavidade selecionável

Especificações padrão
Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
Tamanho do vidro: ≦φ150 mm
Espessura mín.: 0,25 mm
Tolerância de espessura: ±0,01 mm
Tamanho mín. do furo: □0,07 mm
Tolerância do tamanho do furo: ±0,02 mm
Máx. razão de aspecto: 1 : 10
Controle de partículas: Disponível
Forma da seção: Reta / Cônica

Características / especificações técnicas

• Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
• Tamanho do vidro: ≦φ150 mm
• Espessura mínima: 0,25 mm; tolerância ±0,01 mm
• Tamanho mínimo do furo: quadrado 0,07 mm; tolerância ±0,02 mm
• Máx. razão de aspecto: até 1 : 10 (típ. 1:8–1:10)
• Seção transversal: furos retos ou cônicos
• Microfuros de alta densidade: ex. 150.000 furos de 0,1×0,1 mm em pastilha de 3 polegadas
• Metalização das paredes laterais disponível para controlar interferência/absorção óptica
• Controle de partículas e manuseio em sala limpa disponíveis
• Minimização de lascamento para melhorar o desempenho da união anódica