A série de sensores OPTI-Sense é baseada na tecnologia de infravermelhos não dispersivos (NDIR). Eles são projetados precisamente para
medir a absorvância no espectro infravermelho de gases especiais tipicamente encontrados em aplicações de semicondutores. Eles são
muito compacto e projetado sem partes móveis, tornando o OPTI-Sense robusto e ideal para o monitoramento contínuo in-situ de processos de semicondutores.
Os diagnósticos incorporados estão incluídos no software incorporado. Todos os sensores OPTI-Sense são configurados com sensores analógicos e digitais
interfaces, tornando-as fáceis de integrar em qualquer processo.
Características
- NDIR Infravermelho não dispersivo
- Ideal para qualquer gás absorvente de infravermelhos (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 e outras espécies)
- Tempo de resposta rápido
- Alta sensibilidade
- Espécies específicas
- Sem consumíveis
- Sem peças móveis
- Software GUI LabView (opcional)
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