Sistema antivibração ativo Stage-Base 450

A TMC continua a aplicar tecnologia avançada para desenvolver novas soluções para as exigências desafiantes que as ferramentas semicondutoras colocam aos seus sistemas de isolamento de vibrações. O Stage-Base 450 foi especificamente concebido para ser o sistema primário de cancelamento de vibração para ferramentas semicondutoras avançadas que incorporam fases X-Y motorizadas de alta precisão. Embora tais ferramentas exijam um cancelamento de vibração extremamente eficiente, igualmente crítico, requerem que o movimento da carga útil induzido pelo estágio se instale muito rapidamente para maximizar o rendimento da ferramenta. Com a adição de VCM com controlo de avanço para um tempo de estabilização ainda mais rápido para aumentar ainda mais a produção, o resultado é o sistema mais avançado de Vibração Activa e Cancelamento de Movimento para aplicações de fases móveis. A Vantagem da Base de Estágio.. O Stage-Base 450 é a próxima geração no cancelamento activo de vibrações piezoeléctricas de montagem dura, integrando tecnologia de bobina de voz. Apenas a TMC pode oferecer esta tecnologia única do tipo série para cancelamento avançado de vibrações de baixa frequência com motores de bobina de voz (VCM) para cancelamento agressivo de movimento em fase móvel. O sistema de controlo activo Stage-Base 450 da próxima geração incorpora a tecnologia STACIS da TMC para conseguir o cancelamento de vibrações extremas utilizando actuadores piezoeléctricos e uma suspensão rígida numa arquitectura de tipo série. Isto resulta num isolamento da vibração do pavimento a partir de 0,6Hz inigualável na indústria com uma deflexão inicial significativamente menor em resposta às forças de fase. -Incorpora tecnologia STACIS® única -Dispõe de actuadores piezoeléctricos de alta força, de curso prolongado -Possibilidade de repetição de posição da carga útil para dentro de microns -Desenho montável por frames -6 graus de liberdade activos