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- VAT Vakuumventile AG
Válvula de gaveta 651 serieselétricade isolamentoreguladora de pressão
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Características
- Tipo
- de gaveta
- Acionamento
- elétrica
- Função
- de isolamento, reguladora de pressão
- Corpo
- em alumínio, em alumínio anodizado
- Aplicações
- para a indústria dos semicondutores
- Outras características
- para ambiente corrosivo, acionada por motor, com motor de passo
- DN
MÁX: 400 mm
(15,748 in)MÍN: 160 mm
(6,299 in)- Pressão
MÁX: 7 bar
(101,5 psi)MÍN: 4 bar
(58 psi)- Temperatura
MÁX: 120 °C
(248 °F)MÍN: 0 °C
(32 °F)
Descrição
Otimizado para processos corrosivos de semicondutores e FPD (por exemplo, gravação) e para processos de limpeza entre processos de deposição. No modo de controlo, a válvula funciona praticamente sem partículas. A manutenção pode ser feita de forma fácil e rápida.
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