Válvula para ultra-alto vácuo 010 series
de gavetamanualpneumática

válvula para ultra-alto vácuo
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Características

Tipo
de gaveta
Acionamento
manual, pneumática
Função
de isolamento
Corpo
miniatura, em aço inoxidável
Aplicações
para aplicações industriais, para ultra-alto vácuo, para a indústria dos semicondutores
Outras características
compacta, de simples ação, de dupla ação
DN

16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0,63 in, 0,984 in, 1,575 in, 1,969 in)

Pressão

MÁX: 7 bar
(101,5 psi)

MÍN: 5 bar
(72,5 psi)

Temperatura

50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)

Descrição

A mini válvula de porta compacta de UHV que caracteriza um conceito modular do atuador é bem - serido para aplicações industriais e do R&D. É usada frequentemente nos encanamentos de sistemas do processo do semicondutor.

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