Válvula para ultra-alto vácuo 010 series
de gavetamanualpneumática

Válvula para ultra-alto vácuo - 010 series  - VAT Vakuumventile AG - de gaveta / manual / pneumática
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Características

Tipo
de gaveta
Acionamento
manual, pneumática
Função
de isolamento
Corpo$
miniatura
Aplicações
para aplicações industriais, para ultra-alto vácuo, para a indústria dos semicondutores
Material$
em aço inoxidável
Outras características
compacta, de simples ação, de dupla ação
DN

16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0,63 in, 0,984 in, 1,575 in, 1,969 in)

Pressão

MÁX: 7 bar
(101,5 psi)

MÍN: 5 bar
(72,5 psi)

Temperatura

50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)

Descrição

A mini válvula de porta compacta de UHV que caracteriza um conceito modular do atuador é bem - serido para aplicações industriais e do R&D. É usada frequentemente nos encanamentos de sistemas do processo do semicondutor.

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