Máquina de deposição PVD SPECTOR-HT®

assistida por feixes de íons

O SPECTOR-HT é uma máquina de deposição PVD que é assistida por um feixe de iões. Ele é capaz de atingir níveis ótimos de produtividade ao fornecer o máximo de through-put para filmes finos óticos precisos. Esta máquina é especialmente projetada para aumentar as taxas de deposição, tamanhos de lotes e utilização de alvos, bem como reduzir o tempo de processo. Ele é equipado com uma geometria de ferramenta inovadora que aumenta significativamente a uniformidade do material. Uma taxa de 30% de utilização de material é significativamente melhorada pela máquina de deposição SPECTOR-HT PVD.